TGA-321 NH3高精度痕量气体分析仪

      TGA-321 NH₃高精度痕量气体分析仪是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气（NH₃）而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有很高的灵敏度，其检测下限可达ppt 级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 

      该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气（NH₃）分子在管道壁上的吸附，加快测量的响应速度并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。