TGA-331 HF高精度痕量气体分析仪采用的光腔衰荡光谱（Cavity Ring Down Spectroscopy, CRDS）技术与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间短、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
（1）ppt 级别的灵敏度、精度以及准确度
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间短
（4）连续监测
（5）无耗材成本

      TGA-331 HF高精度痕量气体分析仪可广泛应用于半导体行业的洁净室监测，FOUP监测，半导体过程监测等。