应用领域

      半导体是诸多重要产业升级和发展的基础,正推动着全球经济进入数字转型时代,对经济竞争和国家安全至关重要。中国每年半导体消费量占全球的三分之一,进口总额高达3000亿美元。然而自2019年以来,美国频频发布实体清单限制中国科技企业发展,半导体核心技术面临美国“卡脖子”的情况。

       为了降低气态分子污染物(AMC)对制程芯片良率的影响,洁净室关键AMC浓度需要控制在万亿级(ppt),随着制程线宽的继续降低,对AMC控制的要求越来越高。然而高精度AMC检测分析仪主要来自美国和加拿大等国家,且目前均已对我国禁运。为保证我国半导体行业的稳步发展,AMC高精度检测分析技术的国产化发展迫在眉睫。

       灵析光电自主研发了HCl、HF、NH3全系列痕量气体检测分析仪器,高精细腔技术的长光程和低检出限特性完美满足了半导体行业中对痕量气体的检测需求,具有万亿分之一的灵敏度,无耗材,维护量低,低漂移等特性,为半导体、新能源优化生产、工艺控制、生产安全保驾护航。

相关产品

咨询电话

0571-85012207

发送邮箱

微信咨询

扫一扫
关注微信

返回顶部

扫一扫关注微信